H型運動平臺的雙直線電機優(yōu)點有哪些,？
H型運動平臺的雙直線電機優(yōu)點有哪些,？
直線點解驅(qū)動的H型工作臺因其大的行程范圍和高的定位精度面被廣泛應(yīng)用于半導體光刻,、微型機械等領(lǐng)域,。在實際應(yīng)用過程中，由于H型運動平臺的組件不是對稱結(jié)構(gòu),，且制造與安裝過程中存在誤差,，以及工作過程中存在的不確定性擾動等因素的影響，導致即使兩個完全相同的直線電機和伺服系統(tǒng),，最終也不能保證橫粱兩端的同步運動。機械強耦合將導致衡粱扭轉(zhuǎn),，無法保證運動精度,，甚至使結(jié)構(gòu)或驅(qū)動元件受到損壞，因此,，實現(xiàn)質(zhì)心驅(qū)動的高精度同步控制是此類平臺的控制重點和難點,。
針對H型雙邊驅(qū)動運動平臺建立相應(yīng)動力學模型，設(shè)計雙邊同步控制系統(tǒng),，使用兩臺相同的直線電機以保證系統(tǒng)具有高速動態(tài)同步響應(yīng)能力,，使用并聯(lián)控制與模型邏輯反饋相結(jié)合的方法來消除機械耦合的影響,，力求減小雙邊同步控制的誤差。
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