化學(xué)蝕刻的優(yōu)點

低成本,、高可靠性,、高產(chǎn)能及優(yōu)越的蝕刻選擇比,。

但相對于干式蝕刻,，除了無法定義較細(xì)的線寬外,，化學(xué)蝕刻仍有以下的缺點：

1) 需花費較高成本的反應(yīng)溶液及去離子水,； (2) 化學(xué)藥品處理時人員所遭遇的安全問題,； (3) 光阻附著性問題,； (4) 氣泡形成及化學(xué)蝕刻液無法完全與晶圓表面接觸所造成的不完全及不均勻的蝕刻,； (5) 廢氣及潛在的爆炸性。

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